Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы

Название: Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы
Автор: Ю.В. Панфилов, В.Т. Рябов, Ю.Б. Цветков
Размер: 3802 КБ
Качество: Хорошее

Изложены конструкции и принцип действия современного оборудования для производства интегральных микросхем (ИС), основы робототехники и гибких автоматизированных систем. Описаны принципы построения и вопросы эксплуатации промышленных роботов, систем управления с использованием ЭВМ и микропроцессоров. Приведены материалы по анализу конструкции сборочного, химико-технологического, фото, рентгено, электронно-литографического оборудования.

Для учащихся техникумов.

Ссылка 1:  Ю.В. Панфилов, В.Т. Рябов, Ю.Б. Цветков Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы

Ссылка 2: http://rapidshare.com/files/290548625/panfilov.rar

Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы: Учеб. для техникумов / Ю.В. Панфилов, В.Т. Рябов, Ю.Б. Цветков. - М.: Радио и связь, 1988. - 320 с.: ил.